特点:
采用压电陶瓷驱动;
纳米级位移分辨率;
重复定位高;
优良的频率响应特性;
采用计算机有限元分析等现代设计方法设计微动结构;
可内置微位移传感器;
机体材料铝合金;
采用电火花、线切割等加工工艺,以严格加工;
采用的表面处理工艺,了适应不同工作环境的能力。
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