真空泵是过滤效率，加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔膜式真空泵，此类泵型是通过橡胶膜片的往返运动形成真空，其真空压力一般为0.08Mpa左右（单级），过滤速度关键是单位时间内的排气量，及真空泵的流量指标，在过滤量大、介质粘度高时颗粒堵塞滤膜情况下尤显突出。真空泵的使用寿命，除取决于正确的使用方法外（如减少无为的连续开机；溶液抽入泵体等），主要还在于电机功率合理和真空膜的设计形式及疲劳性。
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