分子泵型号:FF-160/750
进气口法兰:LF160:CF160
抽气速率:750升/秒:750升/秒
压缩比:N2 109
H2 5×103:N2 109
H2 5×103
限压强(Pa):<2×10-6:<2×10-7
排气口法兰:KF40
启动时间:<6分钟
额定转速:36000转/分
振动值:≤0.1μm
建议采用前级泵:8升/秒
充油量:110ml
安装方式:竖直&plun;5°
冷却方式及温度:水冷、水温≤25℃
泵体烘烤温度:<120℃
环境温度:5℃~40℃
重量:24公斤:25公斤