即放即测;10秒钟完成50nm的薄金镀层测量;
可无标样测量;通过样品整体图像更方便选择测量位置!
主要特点:
1.通过自动定位功能操作性测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大
样品定位的操作性。
2.微区膜厚测量通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅
度膜厚测量的。
3.多达5层的多镀层测量使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4.广域观察系统(选配)可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5.对应大型印刷线路板(选配)可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6.位与以往机型相比,既了功能性又降低20%以上的价格。