产品简介
的一体化设计，具有优异的光学成像质量，方便使用的正像光学系统，是理想的检测半导体器件的工具，支持3种激光波长，可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。
描述
●人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°-30°转动，调整观察眼点的高度和观察方向，使操作者的使用更加舒适。
●管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜，三组管镜之间可以根据需要进行切换，切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化，1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化，当使用这3个波长的激光器时，可以得到更好的激光透过率。
●光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时，双目头和摄像接口的分光比为0：100，此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路，了激光效率；当转换器拉杆往里推时，双目头和摄像接口的分光比为50：50，此时即可用双目头观察，同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
●偏光观察
主体上留有偏光插孔，插上偏光附件（选配件），可进行偏光观察。
●调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适，工作。调焦机构可承载45磅（20.4Kg），安装激光器和CCD摄像头后，仍然能够正常工作。
●转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器，使用随机配送的调中钥匙，可以很方便地调整物镜的齐中。
●物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜，提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
●数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸，选择合适的摄像接头，安装在摄像接口上，组成数码摄像系统，就可以在电脑、电视或器上同步观察。
●照明系统
采用同轴垂直照明系统，光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器（选配件）给PSM-1000带来更自由的操作空间。
●探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上，进行硅片的测试。
●激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光定位销，双目头前留有安装激光滤的位置，并提供补偿垫片。无需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光滤安装上。
注：在安装和使用激光器之前，请您仔细阅读激光器和激光滤的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光滤而产生的和性能问题，麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
规格说明
PSM-1000主要技术参数
铰链式三目头 图像 正像
瞳距 调节范围 55-75mm
视场直径 24mm
分光比 可通过光路切换拉杆自由切换（双目头：第三目＝100：0或50：50）
主体 管镜 1X（可对紫外及进行优化），2X
激光的使用 拉出光路切换拉杆即可
可应用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
调焦机构 粗微调手轮 调焦行程：50mm；粗动手轮4mm/转；微动手轮0.1mm/转
调焦机构承重量 20.5kg
摄像接头 C-Mount接头
照明系统 同轴垂直照明，可变孔径光栏
冷光源（选配） 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤（2m）
物镜转换器 四孔物镜转换器，中心可调，可拆卸
物镜（选配） 长工作距离平复消色差物镜 2X，5X，10X，20X，50X
长工作距离复消色差物镜 50X，100X
可调焦长工作距离复消色差物镜 2X，5X，10X，20X，50X
可调焦工作距离复消色差物镜 50X，100X
NIR长工作距离复消色差物镜 20X，50X
重量 主体：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg
的一体化设计，具有优异的光学成像质量，方便使用的正像光学系统，是理想的检测半导体器件的工具，支持3种激光波长，可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。
描述
●人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°-30°转动，调整观察眼点的高度和观察方向，使操作者的使用更加舒适。
●管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜，三组管镜之间可以根据需要进行切换，切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化，1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化，当使用这3个波长的激光器时，可以得到更好的激光透过率。
●光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时，双目头和摄像接口的分光比为0：100，此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路，了激光效率；当转换器拉杆往里推时，双目头和摄像接口的分光比为50：50，此时即可用双目头观察，同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。
●偏光观察
主体上留有偏光插孔，插上偏光附件（选配件），可进行偏光观察。
●调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适，工作。调焦机构可承载45磅（20.4Kg），安装激光器和CCD摄像头后，仍然能够正常工作。
●转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器，使用随机配送的调中钥匙，可以很方便地调整物镜的齐中。
●物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜，提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
●数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸，选择合适的摄像接头，安装在摄像接口上，组成数码摄像系统，就可以在电脑、电视或器上同步观察。
●照明系统
采用同轴垂直照明系统，光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器（选配件）给PSM-1000带来更自由的操作空间。
●探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上，进行硅片的测试。
●激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光定位销，双目头前留有安装激光滤的位置，并提供补偿垫片。无需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光滤安装上。
注：在安装和使用激光器之前，请您仔细阅读激光器和激光滤的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光滤而产生的和性能问题，麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
规格说明
PSM-1000主要技术参数
铰链式三目头 图像 正像
瞳距 调节范围 55-75mm
视场直径 24mm
分光比 可通过光路切换拉杆自由切换（双目头：第三目＝100：0或50：50）
主体 管镜 1X（可对紫外及进行优化），2X
激光的使用 拉出光路切换拉杆即可
可应用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
调焦机构 粗微调手轮 调焦行程：50mm；粗动手轮4mm/转；微动手轮0.1mm/转
调焦机构承重量 20.5kg
摄像接头 C-Mount接头
照明系统 同轴垂直照明，可变孔径光栏
冷光源（选配） 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤（2m）
物镜转换器 四孔物镜转换器，中心可调，可拆卸
物镜（选配） 长工作距离平复消色差物镜 2X，5X，10X，20X，50X
长工作距离复消色差物镜 50X，100X
可调焦长工作距离复消色差物镜 2X，5X，10X，20X，50X
可调焦工作距离复消色差物镜 50X，100X
NIR长工作距离复消色差物镜 20X，50X
重量 主体：6.8kg；冷光源照明器：2.5kg
