形尺寸(W*D*H):860*650*1120mm
X*Y*Z行程:400*300*150mm
台面大小:600*450mm
机台重量:350kg
台面荷重:25kg
重现性:<0.005mm
光栅尺解析力:0.001mm
示值:3+L/200μm
放大倍数:20x-120x、30x-225x
CCD:彩色1/3"高解析520TV线
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