外形尺寸(W*D*H):550*550*800mm
X*Y*Z行程:200*100*100mm
台面大小:350*270mm
机台重量:100kg
台面荷重:20kg
重现性:<0.005mm
光栅尺解析力:0.001mm
示值:4+L/150μm
放大倍数:20x-120x/30x-225x
CCD:彩色1/3"高解析480TV线
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