主要技术指标：
1.测量范围：X＝800mm，Y＝1000mm，Z＝600mm
2.空间测量示值误差：E≤2.9＋L/250µm
3.探测误差：R≤2.9µm
4.分辨率：0.5µm
5.运动速度：400mm/s
6.承受重量：1000kg
7.仪器重量：1700kg
8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm
9.环境要求：
温度范围：20&plun;2℃，0.5℃/h，<1＆＃61616；C/24h
气源压力：0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
湿度范围：30%-70%
电源：220V&plun;10%，50Hz
功率：1KV
地面振动：振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
10 Hz<振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm
振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm
1.测量范围：X＝800mm，Y＝1000mm，Z＝600mm
2.空间测量示值误差：E≤2.9＋L/250µm
3.探测误差：R≤2.9µm
4.分辨率：0.5µm
5.运动速度：400mm/s
6.承受重量：1000kg
7.仪器重量：1700kg
8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm
9.环境要求：
温度范围：20&plun;2℃，0.5℃/h，<1＆＃61616；C/24h
气源压力：0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
湿度范围：30%-70%
电源：220V&plun;10%，50Hz
功率：1KV
地面振动：振动频率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
10 Hz<振动频率≤30 Hz 振幅≤1μm
振动频率≥30 Hz 振幅≤3μm
