试样室扫描电镜（LC-SEM）
MIRA试样室扫描电镜（LC-SEM）。作为世界上的一种扫描电镜，自从195年推出后，它已得到广泛应用。并已开发出各种不同的探测设备来满足不同的需求。是FIB和FTIR提供了准确的，直到在分子层面的分析。LC–SEM适用于研究和开发。
使用扫描电子显微镜时在材料科学中面临的挑战之一是被测样品的大小限制。通常情况下，只能对直径在数十到数百百毫米小的样本进行研究。这限制了可以使用这一重要测试技术分析的样品。MIRA试样室扫描电镜（LC-SEM）克服了这一点，并广泛应用在非破坏性试验中。其真空室尺寸和光学系统扩展视图功能多可容纳至直径1500m的样品。
LC-SEM 真空室和真空系统
LC-SEM试样室有 3 m3、9 m3、12 m3三种型号，可：直径1500毫米、高度1500毫米。真空系统装配有强大的三个泵：旋片和转子泵应用于低真空，涡轮增压泵应用于高真空，可实现 10-6 mbar的高真空。该系统有的能力，除去腔室中试样的气体，在45分钟内便可以实现所需的真空度。设置有多层墙体，腔室设计还了不受任何外部磁场的影响。
的定位系统
如果一个人观察一个小的对象，他们将扭转对象，人眼-可视化系统-是固定的。当观察一个更大的物体时，人会在物体周围左右移动，以便观察它。种情况是类似于标准SEM的情况，而后者则反映了LC-SEM的情况。
LC-SEM 配备了定位系统，通过移动电子和探测器以及完整的光学系统可以满足同角度的视角观察。装有一个5＋1旋转轴系统，并可移动样品，减少了装载周期数。
成像和分析能力
通过装备的电子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的图像放大能力，加上强大的二次反射电镜的通道探测器，整个系统通过多个运行系统图像的质量。阻尼系统可以外部振动影响系统，同时电子和探测器有一个的冷却循环系统。
100％的计算机控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的软件。
扩展功能
分析系统
通过分析系统的集成，在腔室的真空环境下，通过能量发散X射线光谱仪（EDS）和电子背散射衍射系统（EBSD），LC-SEM拥有生成完整的测试结果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦离子束（FIB）和傅立叶变换红外光谱仪（FT-IR）实现其扩展功能。
除了研究大样本，LC–SEM还可应用于在材料的变形行为的原位观测以及在微系统技术领域生产过程的现场观测中。
大试样扫描电镜也使得它可以执行“中断监控”较大的工程部件的实验。例如，测试高压泵的高负荷部件摩擦特性，可以通过进行中断监控来研究。这些部件在正常工作一段时期后，可在 LC–SEM 中观察研究，之后可以再立即工作，从而得到不同阶段的摩擦特性。这种监测系统的方式将打开一个不同的、广阔的工程应用领域，使得我们能够获得更密切和更详细的对磨合和破坏过程的了解。
在LC-SEM内的疲劳试验
为了满足评估原位变形特性研究的需要，将一个机械液压疲劳测试框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中执行疲劳测试。
在这种联合测试中，不能确定材料过载临界点，而且裂纹也能被观察和研究，晶体材料的特性能在执行疲劳试验后进行研究，由此显微镜转换成了一个完整的测试设备，能提供完整的测试结果。该系统能使研究人员记录材料裂纹聚集之前的结构变化，同时能够观察微观结构对初期裂纹扩展的影响。该系统还设计有一个节点控制机制，允许感兴趣的点留在视野当中。本机的优异的稳定性，能够疲劳-开裂现象的原位研究。
应用行业
汽车
航空、航天
军事与国
文化与考古
半导体和电子元件
医药与生物材料
法
材料科学
应用领域
非破坏性检测
原位分析
故障分析
研究与开发
MIRA试样室扫描电镜（LC-SEM）。作为世界上的一种扫描电镜，自从195年推出后，它已得到广泛应用。并已开发出各种不同的探测设备来满足不同的需求。是FIB和FTIR提供了准确的，直到在分子层面的分析。LC–SEM适用于研究和开发。
使用扫描电子显微镜时在材料科学中面临的挑战之一是被测样品的大小限制。通常情况下，只能对直径在数十到数百百毫米小的样本进行研究。这限制了可以使用这一重要测试技术分析的样品。MIRA试样室扫描电镜（LC-SEM）克服了这一点，并广泛应用在非破坏性试验中。其真空室尺寸和光学系统扩展视图功能多可容纳至直径1500m的样品。
LC-SEM 真空室和真空系统
LC-SEM试样室有 3 m3、9 m3、12 m3三种型号，可：直径1500毫米、高度1500毫米。真空系统装配有强大的三个泵：旋片和转子泵应用于低真空，涡轮增压泵应用于高真空，可实现 10-6 mbar的高真空。该系统有的能力，除去腔室中试样的气体，在45分钟内便可以实现所需的真空度。设置有多层墙体，腔室设计还了不受任何外部磁场的影响。
的定位系统
如果一个人观察一个小的对象，他们将扭转对象，人眼-可视化系统-是固定的。当观察一个更大的物体时，人会在物体周围左右移动，以便观察它。种情况是类似于标准SEM的情况，而后者则反映了LC-SEM的情况。
LC-SEM 配备了定位系统，通过移动电子和探测器以及完整的光学系统可以满足同角度的视角观察。装有一个5＋1旋转轴系统，并可移动样品，减少了装载周期数。
成像和分析能力
通过装备的电子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的图像放大能力，加上强大的二次反射电镜的通道探测器，整个系统通过多个运行系统图像的质量。阻尼系统可以外部振动影响系统，同时电子和探测器有一个的冷却循环系统。
100％的计算机控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的软件。
扩展功能
分析系统
通过分析系统的集成，在腔室的真空环境下，通过能量发散X射线光谱仪（EDS）和电子背散射衍射系统（EBSD），LC-SEM拥有生成完整的测试结果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦离子束（FIB）和傅立叶变换红外光谱仪（FT-IR）实现其扩展功能。
除了研究大样本，LC–SEM还可应用于在材料的变形行为的原位观测以及在微系统技术领域生产过程的现场观测中。
大试样扫描电镜也使得它可以执行“中断监控”较大的工程部件的实验。例如，测试高压泵的高负荷部件摩擦特性，可以通过进行中断监控来研究。这些部件在正常工作一段时期后，可在 LC–SEM 中观察研究，之后可以再立即工作，从而得到不同阶段的摩擦特性。这种监测系统的方式将打开一个不同的、广阔的工程应用领域，使得我们能够获得更密切和更详细的对磨合和破坏过程的了解。
在LC-SEM内的疲劳试验
为了满足评估原位变形特性研究的需要，将一个机械液压疲劳测试框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中执行疲劳测试。
在这种联合测试中，不能确定材料过载临界点，而且裂纹也能被观察和研究，晶体材料的特性能在执行疲劳试验后进行研究，由此显微镜转换成了一个完整的测试设备，能提供完整的测试结果。该系统能使研究人员记录材料裂纹聚集之前的结构变化，同时能够观察微观结构对初期裂纹扩展的影响。该系统还设计有一个节点控制机制，允许感兴趣的点留在视野当中。本机的优异的稳定性，能够疲劳-开裂现象的原位研究。
应用行业
汽车
航空、航天
军事与国
文化与考古
半导体和电子元件
医药与生物材料
法
材料科学
应用领域
非破坏性检测
原位分析
故障分析
研究与开发
