*型号:FUNION 564
*行程:X轴500mm、Y轴600mm、Z轴400mm
*结构型式:活动桥式
*传动方式:直流伺服系统+预载荷高空气轴承
*长度测量系统:RENISHAW开放式光栅尺,分辨率为0.5μm
*机台:高(00级)花岗岩平台
*使用环境:温度(20&plun;2)℃,湿度55%-65%,温度梯度1℃/m,温度变化1℃/h
*空气压力:0.4MPa-0.5Mpa
*空气流量:120L/min–140L/min
*整机尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
*机台承重:500kg
*整机重量:850Kg
*空间测量:(2.80+L/300)μm