APS 150G分析型探针台
一、基本配置信息：
1.探针台本体：
*Analysis 6"Probe Station（分析型6"探针台）（可选8"、12"）
*6"vacuum chuck（6"真空卡盘））（可选8"、12"）
*Ball screw drived chuck stage（滚珠丝杆精密调节平台）
*Chuck stage travel X，Y 150mm（卡盘平台X，Y行程150mm）
根据需求行程可选200mm（APS 200型）或其它
*Manual chuck theta adjustment（手动卡盘旋转调整）：＋/-0.1度（旋转）
*Chuck up-down 5mm（卡盘升降5mm行程）升降台调节：15度，；4mm，＋/-1um（垂直）
*Microscope stage travel X，Y 25mm（显微镜载物台X，Y行程25毫米）。调节：＋/-1um
2.探针座：DC Probe Head 探针座（可选其它探针座及RF高频探针座）
*Foot dimension（底部尺寸）70 x 35mm
*Travel range（X，Y轴行程范围）12mm
*Travel range（Z轴行程范围）12mm
*Feature Resolution（）1um
*Vacuum base（磁吸附）
注：磁吸附系配置新设计开关磁吸装置；可选择真空吸附；
仰角装置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；
3.显微镜：Microscope System for High Magnification
率显微镜系统
*Magnification up to 500X（放大倍率500X）
注：可选更率镜头，如：100X物镜，即总倍率1000X；
*Fiber Light Guide（光纤传导）：1.5m
*Light Source（光源）：100W
*CCD port（CCD接口）
*目镜：WF10X/24，视场直径 24mm，矫正色差
*物镜：10X，20X，50X
*双目头：瞳距调节范围55~75mm
*上主体：分光比为50：50或0：100
*管镜：1X NUV/VIS
*齐焦距离：95mm
*调焦机构：调焦行程：52mm
*粗动手轮4mm/转
*微动手轮0.1mm/转
*微动手轮 1μm/格
*承载重量：45磅（20.4Kg）
4.CCD：C-MOS camera 1/2 300万像素
二、规格：
组件/型号 APS 150 APS 200
真空吸附卡盘 150mm 不锈钢 200mm 不锈钢
主体平台XY移动行程 149mm*150mm 199mm*200mm
旋转角度 0-30O 0-30O
Z轴行程 5mm 5mm
显微镜平台移动行程 25mm*25mm 25mm*25mm
探针台本体 固定式 固定式
样品尺寸 5*5至150mm 5*5至200mm
真空卡盘平坦度 10um 10um
尺寸 580*460*700（mm） 660*660*700（mm）
重量 60kg 80kg
三、可选项：
*各类光学显微镜
*真空吸附卡盘
*加热卡盘
*客户定制移动平台
*高频探针、电缆线
*低电流/电容量测
*高电压量测
*CCD 相机
*探针夹具
*探针
*真空泵
*屏蔽箱
*振桌
*适配器
*转接头
一、基本配置信息：
1.探针台本体：
*Analysis 6"Probe Station（分析型6"探针台）（可选8"、12"）
*6"vacuum chuck（6"真空卡盘））（可选8"、12"）
*Ball screw drived chuck stage（滚珠丝杆精密调节平台）
*Chuck stage travel X，Y 150mm（卡盘平台X，Y行程150mm）
根据需求行程可选200mm（APS 200型）或其它
*Manual chuck theta adjustment（手动卡盘旋转调整）：＋/-0.1度（旋转）
*Chuck up-down 5mm（卡盘升降5mm行程）升降台调节：15度，；4mm，＋/-1um（垂直）
*Microscope stage travel X，Y 25mm（显微镜载物台X，Y行程25毫米）。调节：＋/-1um
2.探针座：DC Probe Head 探针座（可选其它探针座及RF高频探针座）
*Foot dimension（底部尺寸）70 x 35mm
*Travel range（X，Y轴行程范围）12mm
*Travel range（Z轴行程范围）12mm
*Feature Resolution（）1um
*Vacuum base（磁吸附）
注：磁吸附系配置新设计开关磁吸装置；可选择真空吸附；
仰角装置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；
3.显微镜：Microscope System for High Magnification
率显微镜系统
*Magnification up to 500X（放大倍率500X）
注：可选更率镜头，如：100X物镜，即总倍率1000X；
*Fiber Light Guide（光纤传导）：1.5m
*Light Source（光源）：100W
*CCD port（CCD接口）
*目镜：WF10X/24，视场直径 24mm，矫正色差
*物镜：10X，20X，50X
*双目头：瞳距调节范围55~75mm
*上主体：分光比为50：50或0：100
*管镜：1X NUV/VIS
*齐焦距离：95mm
*调焦机构：调焦行程：52mm
*粗动手轮4mm/转
*微动手轮0.1mm/转
*微动手轮 1μm/格
*承载重量：45磅（20.4Kg）
4.CCD：C-MOS camera 1/2 300万像素
二、规格：
组件/型号 APS 150 APS 200
真空吸附卡盘 150mm 不锈钢 200mm 不锈钢
主体平台XY移动行程 149mm*150mm 199mm*200mm
旋转角度 0-30O 0-30O
Z轴行程 5mm 5mm
显微镜平台移动行程 25mm*25mm 25mm*25mm
探针台本体 固定式 固定式
样品尺寸 5*5至150mm 5*5至200mm
真空卡盘平坦度 10um 10um
尺寸 580*460*700（mm） 660*660*700（mm）
重量 60kg 80kg
三、可选项：
*各类光学显微镜
*真空吸附卡盘
*加热卡盘
*客户定制移动平台
*高频探针、电缆线
*低电流/电容量测
*高电压量测
*CCD 相机
*探针夹具
*探针
*真空泵
*屏蔽箱
*振桌
*适配器
*转接头
