● 整体一体化新外观设计
●X、Y、Z三轴伺服控制、定位高，运行平稳
●X、Y向导轨采用高花岗石，性能稳定，不易变形
●操纵秆/鼠标操作、方便易用
●程控恒流驱动式四环四驱冷光表面光源，可适应复离的工件测量
●激光指示器指示测量位置，方便快速定位
●Y向传动为定位导向，运行更平稳，更高
●行程大，测量范围更广
技术规格参数
机台结构
型号 VMS-0810H VMS-1012H VMS-1215H
X/Y轴行程（mm）800***1500
玻璃台尺寸（mm）885***1858
外形尺寸（m）2.17*2.38*1.56 2.37*2.58*1.56 2.57*2.88*1.56
整台重量（kg）
Z轴运动行程 200mm
X/Y轴速度 300mm/s
光学系统
变倍镜头倍率 0.7X～4.5X
光源表面光源-LED表面环形光源底光源-LED新型直线光源
光学尺分辨力 0.5μm
X/Y示值误差（4＋L/200）μm
摄像机彩色1/2"CCD摄像机
激光平面度测量重复性3μm（选配激光位移器时）
物方视场 11.1mm～1.7mm
三坐标测量仪，高稳定三坐标测量仪，测量三坐标测量仪，三坐标测量仪。
●X、Y、Z三轴伺服控制、定位高，运行平稳
●X、Y向导轨采用高花岗石，性能稳定，不易变形
●操纵秆/鼠标操作、方便易用
●程控恒流驱动式四环四驱冷光表面光源，可适应复离的工件测量
●激光指示器指示测量位置，方便快速定位
●Y向传动为定位导向，运行更平稳，更高
●行程大，测量范围更广
技术规格参数
机台结构
型号 VMS-0810H VMS-1012H VMS-1215H
X/Y轴行程（mm）800***1500
玻璃台尺寸（mm）885***1858
外形尺寸（m）2.17*2.38*1.56 2.37*2.58*1.56 2.57*2.88*1.56
整台重量（kg）
Z轴运动行程 200mm
X/Y轴速度 300mm/s
光学系统
变倍镜头倍率 0.7X～4.5X
光源表面光源-LED表面环形光源底光源-LED新型直线光源
光学尺分辨力 0.5μm
X/Y示值误差（4＋L/200）μm
摄像机彩色1/2"CCD摄像机
激光平面度测量重复性3μm（选配激光位移器时）
物方视场 11.1mm～1.7mm
三坐标测量仪，高稳定三坐标测量仪，测量三坐标测量仪，三坐标测量仪。
