传感器的量程与分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率数据记录-以横向（X轴）数据点间距为0.125μm进行数据记录，可完成200mm（1，600，000数据点）的测量表面形状基准杆-驱动箱200mm内配有直线度为0.125μm的精密基准杆工作平台的稳定性-配有震、噪系统的大理石基座分析的灵-提供宽广领域的轴承分析功能选项
传感器的量程与分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率数据记录-以横向（X轴）数据点间距为0.125μm进行数据记录，可完成200mm（1，600，000数据点）的测量表面形状基准杆-驱动箱200mm内配有直线度为0.125μm的精密基准杆工作平台的稳定性-配有震、噪系统的大理石基座分析的灵-提供宽广领域的轴承分析功能选项
传感器的量程与分辨率-量程12.5mm和0.8nm 的垂直分辨率数据记录-以横向（X轴）数据点间距为0.125μm进行数据记录，可完成200mm（1，600，000数据点）的测量表面形状基准杆-驱动箱200mm内配有直线度为0.125μm的精密基准杆工作平台的稳定性-配有震、噪系统的大理石基座分析的灵-提供宽广领域的轴承分析功能选项
