METONE4500颗粒在线检测传感器
特点：长寿命激光技术从而降低了使用成本
流量1cfm(28.3 升/ 分)，可小监控0.3μm(4503)和
0.5μm(4505)粒径颗粒
0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围
RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与FMS 系统连接和通讯
应用：电子半导体厂洁净室空气监控，惰性气体采样和微环境监控
性能：监控小粒径尺寸0.3μm（4503） 0.5μm（4505）
流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分)
粒径通道数为2
粒径通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm
计数效率 4503 50%@0.3μm 100%@>0.45μm 4505
50%@0.5μm 100%@>0.75μm
激光光源为长寿型激光二管（10 年 MTTF）;
浓度损失为<5%@2,000,000颗/ft3
电源采用9-28VDC；通讯协议方式为Modbus 或脉冲
特点：长寿命激光技术从而降低了使用成本
流量1cfm(28.3 升/ 分)，可小监控0.3μm(4503)和
0.5μm(4505)粒径颗粒
0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围
RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与FMS 系统连接和通讯
应用：电子半导体厂洁净室空气监控，惰性气体采样和微环境监控
性能：监控小粒径尺寸0.3μm（4503） 0.5μm（4505）
流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分)
粒径通道数为2
粒径通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm
计数效率 4503 50%@0.3μm 100%@>0.45μm 4505
50%@0.5μm 100%@>0.75μm
激光光源为长寿型激光二管（10 年 MTTF）;
浓度损失为<5%@2,000,000颗/ft3
电源采用9-28VDC；通讯协议方式为Modbus 或脉冲
