二 本机由三部分组成:等离子体发生器,真空腔及真空系统,控制系统。真空腔可同时处理700×500 共10层的工件。真空系统包括真空泵,管道和阀门系统,PLC通过程序来控制真空泵、电磁阀的开关,充入微量气体的真空度,放电真空度,放电时间,充入氮气(N2)的冷却时间等参数。在的真空度下,产生稳定的低温等离子体。
本机主要技术参数为:
输入电压 380V
输出电压 0—500V
输出功率 功率 1.5 KW
峰值功率 6.0 KW
输出过载电流 20A
充入微量气体真空度59pa
间距离 20mm
可加载气体 H2 、N2 等可同时接通三种气体
本机性能优异,使用效果良好,欢迎使用