SC1-N为磁控管式冷阴电离真空计。因为未使用灯丝,所以无需担心传感器的损耗。维修简单、成本低。另外,构造设计便于维修,运行成本较低。
◎无需压力显示的情况下:因构造上删除了显示部分,成本降低。
◎使用电源DC24V
◎维修简单
◎能实现模拟信号输出和开关信号(2点)输出。
◎RS-485通信(多点输出,多31台)(传感器单元)
◎规管经处理,在120℃的温度下也不会损坏。
用途
◎可用于半导体、电子元件为主的各种真空装置的程序控制。
◎可用于真空炉为主的各种产业机器的过程管理。
传感器单元SW1-N1/SW1-N2
本真空计属皮拉尼真空计,可测量的压力范围从大气压至5×10-2Pa。本真空计从控制面板上去除了操作及显示部分,只保留了要的功能,从而降低了价格,使外形更小巧,而且已通过CE。
用途
可用于半导体、电子原件为的各种制造装置的低真空领域的过程管理;
可用于真空炉为的各种产业机器的低真空领域的过程管理;
可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。
可测量范围广:从大气压至5×10-2Pa
传感器与控制部一体化:节省空间、降耗?