HT2000系列空气质量流量传感器，该产品芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征赛贝克效应。
应用领域
◆ 暖通空调和汽车工业上的质量流量
◆ 呼吸器和通风器
◆ 气体分析仪
◆ 气体标定
性能
◆ 对低速和微差压十分敏感
◆ 没有输出信号的偏移和偏移漂移
◆ 反应速度快（小于10ms）
◆ 耐腐蚀性气体，擦
◆ 耐振动，耐高压（15个以上大气压）
◆ 信号处理电路简单
优势
★ 热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高，不受干扰的优点外，还不像二管和三管测温，需要外加偏压，因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移，使测量变得简单。
★ 的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动，耐高压，耐腐蚀，耐流体中颗粒的冲撞和磨损。
★ 适用于气体流体。
性能参数
参数 | 小 | 典型 | 大 | 单位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范围（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
点漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
输出电压漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重复性&迟滞 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加热电流 | 6，恒电流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加热功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加热电阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
点温漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
参考电阻温度系数 | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游热偶堆输出（空气，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游热偶堆输出（空气，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作温度 | -10 | 80 | ℃ | 反应时间 | ms | 过 压 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接线
1. Gnd 2.信号输出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信号输出：S-
注：HT2000系列气体质量流量传感器正向气流方向被定义为从P2孔流向P1孔，并导致正的输出，不要施加过10psi的力在2个测量空孔的每个方向上。
优势
★ 热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高，不受干扰的优点外，还不像二管和三管测温，需要外加偏压，因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移，使测量变得简单。
★ 的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动，耐高压，耐腐蚀，耐流体中颗粒的冲撞和磨损。
★ 适用于气体流体。
性能参数
参数 | 小 | 典型 | 大 | 单位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范围（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
点漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
输出电压漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重复性&迟滞 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加热电流 | 6，恒电流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加热功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加热电阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
点温漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
参考电阻温度系数 | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游热偶堆输出（空气，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游热偶堆输出（空气，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作温度 | -10 | 80 | ℃ | 反应时间 | ms | 过 压 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接线
1. Gnd 2.信号输出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信号输出：S-
注：HT2000系列气体质量流量传感器正向气流方向被定义为从P2孔流向P1孔，并导致正的输出，不要施加过10psi的力在2个测量空孔的每个方向上。
