产品特点：
-传感器的点稳定度高
-全量程高稳定性
-全量程高度和优良的重复性
-低功耗
-低压损
-响应时间快
-传感器灵敏度高,有小的始动流量
-传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,了传
-感器的高计量
-在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大
产品简介：
专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用微电子系统流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
主要参数：
| 性能参数 | L | 单位 | |
| 通径 | 1.0 | 1.8 | mm |
| 流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精度 | &plun;(1.5+0.2FS) | % | |
| 重复性 | 0.25 | %读数 | |
| 点输出飘移 | &plun;30 | mV | |
| 输出飘移 | &plun;0.12 | %/oC | |
| 响应时间 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
| 流量压损 | 350 | 300 | pa |
| 工作压力 | 0.5 | MPa | |
| 工作温度 | -10 ~ +55 | oC | |
| 存储温度 | -20 ~ +65 | oC | |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | ||
| 机械接口 | 可拆式软管接头 | ||
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20℃，101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | g |
