| X轴 |
| 测量范围： | 100mm或200mm |
| 分辨率： | 0.05μm |
| 检测方法： | 线性编码器 |
| 驱动速度： | 0-80mm/s外加手动 |
| 测量速度： | 0.02-5mm/s |
| 测量方向： | 向前/向后 |
| 直线度： | 0.8μm/100inch,2μm/200mm;以X轴为水平方向上 |
| 指示(20°C时)： | &plun;(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4) |
| &plun;(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4) |
| &plun;(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) |
| &plun;(0.8+0.02L)μm(CV-4100S4,H8,W8) |
| *L=驱动长度(mm) |
| 倾斜范围： | &plun;45° |
| Z1轴(立柱,用于CV-2000) |
| 垂直移动： | 300mm或500mm |
| 分辨率： | 1μm |
| 检测方法： | ABSOLUTE线性编码器 |
| 驱动速度： | 0-20mm/s外加手动 |
| Z1轴(检测器) |
| 测量范围： | &plun;25mm |
| 分辨率： | 0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100) |
| 检测方法： | 线性编码器(CV-3100),激光全息测微机(CV-4100) |
| 指示(20°C时)： | &plun;(2+|4H|/100)μm(CV-3100) |
| &plun;(0.8+|0.5H|/25)μm(CV-4100) |
| *H为水平位置上的测量高度(mm) |
| 测针上/下运作： | 弧形运动 |
| 测针方向： | 向下 |
| 测力： | 30mN |
| 跟踪角度： | 向上:77°,向下:87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针) |
| 测针针尖： | 半径:25μm,硬质合金针尖 |
| 基座尺寸(WxH)： | 600x450mm或1000x450mm |
| 基座材料： | 花岗岩 |
| 重量 | 5kg(CV-1000N2),115.8kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4) |
| 主机： | 140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4),140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8) |
| 控制装置： | 14kg |
| 遥控箱： | 0.9kg |
| 电源： | 100-240VAC&plun;10%,50/60HZ |
| 电源： | 400W(限主机) |
