测量元素:原子序号22（Ti）～83（Bi）
X射线源:空冷式小型X射线管
检测器:比例计数管
准直器:○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2种
样品观察:CCD摄像头（可进行广域观察）
对焦:激光点（自动）
滤波器：滤波器： 自动切换
样品台（台式尺寸）: 500（W） x400（D） x 150（H）mm
（移动量）:X:250mm, Y:200mm
操作部:电脑、19寸液晶
测量软件:薄膜FP法 （多5层膜、10种元素）、标准曲线法
数据处理:配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
机构:样品门连锁、样品的冲撞功能、仪器诊断功能
日本精工电子有限公司的子公司精工电子纳米科技有限公司推出配备自动定位功能的[X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110]，使操作性进一步。
对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可产品的功能及品质，降。精工从1971年次推出非接触、短时间内可进行高测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。
为了适应日益的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大了样品测量的操作性。
近年来，随着检测件的微小化，对微区的高测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度膜厚测量的。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。
特点
即放即测！
通过自动定位功能，放置样品后需几秒，便能自动对准观察样品焦点。
10秒钟完成50nm的薄金镀层测量！
以的设计实现微小区域下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度地膜厚测量的。
无标样测量！
将薄膜FP软件进一步扩充，即使没有厚度标准物质也能进行高的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。
