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仪器特点
◆ 四轴CNC控制系统，全自动测量；
◆ 三轴精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ 精密花岗岩机台，高、稳定性好；
◆ TZTEK自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 全鼠标的自动化控制，简单易用；
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
技术参数
| 型号 | VMC222 | VMC322 | VM32 | VMC542 |
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1680 |
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 测量 | XY轴* | E2=(2.2+L/200)µm | E2=(2.6+L/200)µm | |
| Z轴** | E1=(5.0+L/200)µm | |||
| 速度 | XY轴 | 200mm/S | ||
| Z轴 | 100mm/S | |||
| 光栅尺 | 0.5µ光栅尺 | |||
| 导轨 | Hiwin | |||
| 图像传感器 | 130万像素数字彩色相机 | |||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 表面光 | 6环8区LED冷光源，各段操控，256级亮度可调 | |||
| 同轴光 | 可选配，参数同轮廓光 | |||
| 光学镜头 | 6.5:1连续变倍 | |||
| 软件 | Vispec测量软件（VMC版） | |||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | |||
| 保修期 | 1年 | |||
| 工作环境 | 温度20℃&plun;2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% | |||
| 振动<0.002g，低于15Hz | ||||
| 电源 | 220V/50Hz/10A |
| * L表示测量长度，以毫米为单位。** Z轴的机械，聚焦的与工件表面有很大关系。 |
