功能概览
- 提供有单层和多层型号
- ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换，从而化生产力
- XTC/3M 多层型号多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
- XTC/3S 单层型号多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
- 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
- 可以为薄膜和过程分配的描述性名称，以便于检索
- 提供以太网连接
- 式（不需要计算机）或可选的 Windows® 软件，便于使用 PC 操作
- 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
