MX61
奥林巴斯MX61/MX61L的特点
半导体/FPD检查显微镜；为用户提供率。
MX61适用于200mm的样本，而MX61L则可适用于300mm的样本。
1、大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆检查(MX61L)。
2、采用高NA的光聚光镜，图象更锐利。
3、多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求。
4、和反射照明可同时使用，大液晶基板观察效果。
5、本信息来自上海富莱光学科技有限公司龙先生。
奥林巴斯MX61/MX61L显微镜的配置
型号 | OLYMPUSMX61L型显微镜 | ||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | ||
显微镜镜体 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开） | |
观测方法 | |||
①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦光明视场法；⑧光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与光照明部件配合使用。 | |||
观察镜筒 | 宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 | 宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置） 龙先生 | |
换镜转盘 | 电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型 | ||
载物台 | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原装日本精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 | ||
内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | |||
能耗 | |||
体积/重量 | 体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm 重量：约51kg（载物台约重31kg） | ||
