- 品牌/商标：TOHO，KLA-Tencor
- 企业类型：制造商
- 新旧程度：全新
- 原产地：日本
仪器简介：
技术参数：
主要特点：
应用：
◆各种材质及薄膜应力分析。
◆ 其他型号：FLX-3300 (适用于12”样片)
技术参数：
Toho FLX-2320-S薄膜应力计测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。
主要特点：
◆双光源扫描（可见光激光源及不可见光激光源），系统可自动选择匹配之激光源；
◆系统内置升温、降温模拟系统，便于量测不同温度下薄膜的应力，温度调节范围为-65℃至500℃；
◆自带常用材料的弹性系数数据库，并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库，便于新材料的研究实验；
◆形象的软件分析功能，用于不同测量记录之间的比较，且测量记录可导出成Excel等格式的文档；
◆具有薄膜应力3D绘图功能。
