- 产品品牌：
- 德国
- 产品型号：
- ZLM800
产品功能
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等，多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系测量检测物体的振动变化。
性能优势
技术参数
型号：ZLM800
使用高性能PCI或单片机式数据处理器
He-Ne激光平均波长：
632.8 nm
激光稳频：
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统（0-40℃时）：
±0.4ppm
光束直径：
6mm (可选3.2mm)
激光管突发输出功率：
5mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数：
多6个
线性测量距离：
2m
角度测量范围：
± 3.5'
速度：
2m/s
加速：
无限制
采样频率：
内部1MHz，外部40MHz
预热时间：
10分钟
位移测量分辨率：
1.25nm
位移测量：
±0.4ppm (μ/m)
角度测量分辨率：
0.003μrad
角度测量：
±0.1ppm实测值
数据接口：
积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
应用
下述是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。
ZLM800部分光路图示例
从X、Y和Z方向同时测量被测物体的位移，其中X和Y在一个水平层面上
在水平方向同时测量出被测物体的位移、偏摆和俯仰角度变化（上图）
在垂直方向同时测量出被测物体的位移、偏摆和俯仰角度变化（上图）
同时从X和Y方向测量被测物体的位移变化（上图）
同时从X和Y方向测量运动平台两个层面的位移变化（上图）
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的角度的变化（1）
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化（2）
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化（3）
资料
复杂光路测量的应用.pdf
系统应用简介.pdf
