- 产品品牌：
- Line Tech
- 产品型号：
- M3030V/A
韩国原装进口高气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。 应用： l 所有工业 l 气体混合及分析 l 注气、表面加工行业（PVC,CVD,反应器等） l 半导体工业 l 部件泄露检测 l 产品研究和开发 l 高压行业 l 光纤 l 燃料电池 l 反应器系统 l 气体的混合系统 优势： l 测量质量流量 l 不需要温度、压力补偿 l 紧凑的流量控制系统 l 高（±1%F.S） l 耐高压（95公斤） l 快速响应时间（＜1秒） l 高重复性（±0.25%F.S) 规格：
| 型号 | M3030V/A |
| 流量范围（N2) | 0.01~30 slpm |
| 响应时间 | ＜2秒 |
| 度 | ±1% |
| 重复 | ±0.25% |
| 输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
| 供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作压力 | 5~1300 psia |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范围 | 2~100% |
