- 产品品牌:
- sevenstar
- 产品型号:
- D07-7K
D07-7K型 气体质量流量控制器 高性能价格比、普通型产品 橡胶密封、模拟电路的MFC 7A型的更新换代型 管状分流,使用寿命长 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。 标准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V 技术性能指标
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
准确度 | ±1%F.S. | |
线性 | ±0.5~1%F.S. | |
重复 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | |
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差 | 0.1~0.5MPa | |
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
密封材料 | 氟橡胶、氯丁橡胶 | |
电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ3hose |
Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
重量 | 1.1Kg |