产品概述:
HFS4000系列是广州昊仪自动化设备有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环保监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）
HFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。
HFS4008流量传感器，测量范围到50SLPM。可用于气流测量和控制设备。应用于设备、洁净气体监控，如：空气采样机，气体分析仪等。
产品特点:
- 专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
- 卡口式设计为多管路集成测量而设计
- 快速地响应时间利于精密测量应用
- 可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
- 内置安全插件可适用于更多的应用
产品特点:
通径 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 >100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 ±0.75 %
压力 1.0 MPa
工作温度 -10~55 oC
湿度 < 95 %HR
电源 8-24Vdc, 50mA
输出方式 RS232, I2C, 模拟
机械接口 NPT, BSPT 或根据需要定制
校准条件 空气, 20oC, 101.325 kPa
| HFS4003 | HFS4008 | 单位 | |
| 通径 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重复性 | ±0.75 | % | |
| 压力 | 1.0 | MPa | |
| 工作温度 | -10~55 | oC | |
| 湿度 | < 95 | %HR | |
| 电源 | 8-24Vdc, 50mA | ||
| 输出方式 | RS232, I2C, 模拟 | ||
| 机械接口 | NPT, BSPT 或根据需要定制 | ||
| 校准条件 | 二氧化碳, 20oC, 101.325 kPa | ||
广州昊仪自动化设备有限公司
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