曝光机
型号URE-2000/25型
产品介绍曝光机又名紫外光刻机（英文名：Mask Aligener)
技术特征
设备技术性能优越表现在
1．采用技术——积木错位蝇眼透镜消衍射，实用分辨力可达1.0-1.2微米；
2．精密对准系统先进——采用精密双侧V型滚动导轨、精密对准调节手轮、大倍率显微镜，消除曝光间隙采用精密密排钢球轴系导向，对准漂移非常小，对准可达0.8微米；3．积木错位蝇眼透镜（79个）。照明聚光角小(光源平行性好)，照明均匀性好，照明面积为100mmX100mm(根据用户需要可改为150mmX150mm,国内同类面积一般为f100mm或更低);照明均匀性在f100范围优于±4%（国内同类一般低于±5%）；
4．光源质量好——保证曝光图形方、陡、直。通过光学设计、光学镀膜，曝光成分为纯净的365nm，红外和可见成分被彻底过滤，曝光面为冷光（在环境温度为22度，曝光面温度不超过30度），肉眼观察为暗蓝紫光，紫外探测能量很高；国内同类由于采用常规玻璃并由于不掌握特殊紫外镀膜技术曝光面为热光（在环境温度为22度，曝光面温度超过30度），且紫外比重很小，肉眼观察为白光，紫外探测能量很低；
5．可靠性很高。关键器件采用进口件，如气动元件主要采用日本SMC，汞灯采用德国欧斯朗；
6．工艺适应性好，可适应的片子范围可达f10-f100mm的各种规则和不规则片,厚度可适应0.1mm—6mm（0.1mm—15mm）。掩模可适应2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸，厚度可适应1mm-8mm；
7．光功率强，照明面积为100mmX100mm，曝光（纯365nm）光功率可达到20mW,而曝光面温度小于30度。而国内同类一般在f100mm曝光面积一般在15mW以下，而曝光面温度大于30度；
8．技术接口配套，操作方便。高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并可提供USB输出；既满足高对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果方便存储；
9.曝光时间可任意设定。曝光快门控制可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；
10.长寿命汞灯。采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
11.设备外形美观，性能非常可靠。设备较于国内同类产品具有较明显优势。
二、设备技术指标先进
主要技术参数
1.曝光面积：100mm×100mm（或150 mm×150mm）；
2.分辨力：≤1.2mm（胶厚2mm的正胶）；
3.对准：±0.8mm；
4.掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
5.掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
6.样片尺寸:直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片)、 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
7.照明均匀性：≤±4%（f100mm范围）；
8.掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度；
9.汞灯功率：350W（直流）；曝光波长：365nm； 10.曝光能量密度：18-20 mW/cm
11.曝光方式：定时（倒计时方式0.1s—9999s）。
