- 品牌/商标：MicroSense
- 企业类型：贸易商
- 原产地：美国
- 高：0.1nm
- 高带宽：10HZ-100KHZ
MicroSense电容式微位移传感器
MicroSense 微位移
MicroSense传感器
MicroSense非接触式传感器
MicroSense探头
高传感器
激光传感器
涡流传感器
传感器类型
感应器原理
接触式位移传感器
直线位移传感器
线性度传感器
线性度测量
主轴测量
厚度测量
定位应用
平面度测量
MicroSense有限责任公司成立于1967年，原隶属于KLA-Tencor公司。以其超高分辨率、非接触式的空间尺寸测量技术闻名。MicroSense提供传感器和OEM计量模块，在其的电容式感应技术基础上，进行超高，高带宽的精密测量应用，如太阳能硅片(厚度测量)，硬盘驱动电机（主轴跳动误差分析），气浮主轴（主轴跳动误差分析），精密XY工作台（位移量测试及定位），光盘（厚度、平坦度测量），汽车零部件及机床（直线度、平坦度及定位）,伺服反馈系统（如钻石切割、压电式切割机）。我们的电容式位移传感器提供了在同行业中的分辨率（小于0.05纳米），具有出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。
产品参数：
MicroSense旗下共有4800、5800、6800和8800系列产品。探头主要分为被动式和主动式两种型号。探头型号的选择需要综合考虑被测物体尺寸、运动速度等因素。
被动式探头具有高线性度、高稳定性、高分辨率的特点，带宽支持：10Hz、100Hz、1KHz、10KHz、支持20KHz带宽，线性度为满量程的0.02% - 0.1%,量程范围从+/- 5um - +/-2mm，稳定性：一般优于200ppm/oC，分辨率为纳米或亚纳米级别，输出电压：+/- 10V；
主动式探头具有高带宽、高动态、高分辨率、高信噪比的优良性能，带宽支持：1KHz、5KHz、20KHz、100KHz，线性度为满量程的0.1% - 0.5%,量程范围从+/- 25um - +/- 1mm.稳定性：一般优于200ppm/oC，分辨率为纳米或亚纳米级别，输出电压：+/- 10V。
主要应用于马达转子测量、驱动电机测试等高速运转的应用。
以下列举部分探头参数：
典型分辨率(RMS, nm)
探头? | 范围 | 带宽 | 分辨率 |
(mm) | ±μm | (kHz) | (nm rms) |
10 | 500 | 1 | 5 |
5 | 250 | 1 | 6 |
3 | 100 | 1 | 1.8 |
3 | 50 | 1 | 0.6 |
1 | 250 | 100 | 25 |
0.5 | 50 | 100 | 5 |
产品性能优势：
? 高分辨率，可达亚纳米级分辨率；
? 没有迟滞；
? 高带宽，可支持100KHz带宽；
? 小探头尺寸，探头尺寸及长度可根据客户实际应用设计；
? 高；
应用领域：
1. 距离测试、机床和精密机台的直线度和平面度测量
2. 机床主轴，空气轴承主轴，轴承和精密电机径向和轴向跳动测试
3. 硅片等厚度测试
4. 定位系统应用：
5. 自动对焦控制系
6. 伺服反馈系统
现有客户群体：
清华大学、南开大学、天津大学、德国Bruker、荷兰ASML、美国西部数据(Western Digital Corp)、美国Federal Mogul、美国FEI、韩国三星集团、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等企业及院所。
