| 型号 | 501 UM / 501 UC | 502 UM / 502 UC |
| 量测行程 | 400 x 500 x 160 mm | 400 x 500 x 250 mm |
| 外形尺寸 | 1100 x 1200 x 1550mm | 1100 x 1200 x 1650mm |
| 重量 | 860kg | 900kg |
| XY 移动速度 | 700 mm/s | |
| XY 加速度 | 1400mm/S2 | |
| Z 移动速度 | 100 mm/s | |
| Z 加速度 | 450mm/S2 | |
| 光学尺分辨率 | 0.1μm | |
| XY | 2.5 + L/200 | 2.8 + L/200 |
| Z? | 2.5 + L/100 | 3.0 + L/100 |
| 镜头倍率(光学,数字) | 36x(12x, 3x) | |
| 放大倍率 | 15x-540x to 30x-1080x | |
| 表面光, 轮廓光,同轴光光源 | 红光LED (黑白系统) 白光 LED(彩色系统) | |
| 承载重量 | 100kg | |
| 电源系统 | 93-264 VAC,47-63 Hz | |
北京汇光科技有限公司
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