- 品牌/商标:新宇宙
- 新旧程度:全新
- 原产地:日本
型号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内
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