上海圣沃实业有限公司
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特点
1.快速响应ppb水平的微量湿度变化
2.高灵敏度，实时监测
3.小巧经济，适合多点安装
4.报警点设置可编程
5.交通灯直观状态显示
6.MODBUS兼容
典型运用
安装于晶圆生产FAB中的高纯惰性气体管路末端
技术参数
响应时间：<1Min（在1ppb基础上的20ppb变动）
湿度范围：1ppb~20,000ppm
工作压力：0~10Bar
压力等级：30MPa
工作温度：+5~+40℃
气室材料：冷拉不锈钢，内部超微米级电抛光
防护等级：IP65
流量等级：建议为1~10NL/Min
工作电源：20~28VDC
输出信号：Modbus RS485
