扫描热显微镜模块（由控制器，软件和探针组成）可使大多数AFM实现对试样温度的扫描成像，且分辨率可达0.1℃。
SThM探针
SThM的探针可测量探针温度，因而能实现对试样表面的导热系数或温度变化的扫描成像。表面形貌和热性能成像图的分辨率一般低于100nm。悬臂由SiN制成，内嵌薄金属线且金属线的阻位置在针尖附近。由于使用了金属薄膜电阻，这类探针不像ThermaLever探针能升至很高的温度。为了便于操作和使用，这类探针的针尖通常先预装在支架上并采用电气连接。
探针型号 | GLA |
微悬臂材料 | SiN |
电阻材料 | 钯 |
长度（μm） | ~150 |
厚度（μm） | ~0.5 |
针尖高度（μm） | 10 |
弹簧常数（N/m) | ~0.3 |
共振频率（kHz) | 50 |
针尖半径 | ＜100 |
可控温度（℃） | 160 |
图像模式 | |
接触模式 | Y |
间歇接触模式 | Y |
