美国精密匀胶机Smart Coater 100

·             新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

·             7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

·             Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

·             标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

·             采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

·             机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。

·             排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

·             透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

主要性能指标

·             主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

·             旋涂程序：多可存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒

·             转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)

·             旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

·             马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%

·             转速调节<1rpm，重复性< 1rpm

·             工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置：0.1sec

·             支持wafer尺寸1cm-200mm

·             旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

·             设备尺寸  32cm W × 45cm D × 30cm H