| 空气分子污染监测系统 | | | | 莱特浩斯污染反应监测器是个能提供区域环境空气分子污染实时数据的仪器。镀有铜
或银石英晶体微量平衡传感
器用于检测大量的导致金属污染反应的腐蚀薄膜。对气团的增大的描述是基于被腐 蚀的用于测量波长埃里数的光掩膜。这种高的腐蚀检测手段将设备的监测提升到
了1ppb的级别。 | |
| | | | | | | | 操作规则 | 莱特浩斯污染反应监测器是个能提供区域环境空气分子污染实时数据的仪器。镀有铜或银石英晶体微量平衡传感
器用于检测大量的导致金属污染反应的腐蚀薄膜。对气团的增大的描述是基于被腐蚀的用于测量波长埃里数的光掩
膜。这种高的腐蚀检测手段将设备的监测提升到了1ppb的级别。 空气分子污染 一套的系统被发展成微环境下空气光掩膜表面的空气质量的检测。下表提供了空气质量标准的参考，其中各项参
数需要严格要求才能保证芯片制造的质量，包括了对AMC的要求。 |
| 空气质量标准 | | 铜腐蚀 | 银腐蚀 | 等级 | 空气质量级别 | 反应率 | 等级 | 空气质量级别 | 反应率 | C1
C2
C3
C4
C5 | 纯净
清洁
中度污染
污染较严重
严重 | <90?/30 days
<150?/30 days
<250?/30 days
<350?/30 days
>350?/30 days | S1
S2
S3
S4
S5 | 纯净
清洁
中度污染
污染较严重
严重 | <40?/30 days
<100?/30 days
<200?/30 days
<300?/30 days
>300?/30 days |
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| 空气质量级别详细说明 | 纯净：污染对装配过程不构成可测得的威胁。
清洁：污染可测到，但对装配过程不构成即时威胁
中度污染：超过以上标准的污染会轻度影响装配过程
污染较严重： 超过以上标准会对装配过程造成污染。
严重： 污染对装配过程构成即时威胁。 |
| 莱特浩斯污染反应监测器 | 莱特浩斯感应监测器的维护仅需替换传感器 原因在于红色发光灯闪跳。在 2级环境下，铜质地的传感器将能延用26个月；
银质地的传感器将能延用40个月。安装LWS实时监控显示器时，需要放置在特殊的盒子里，在合适安全的 视线高度内固定好. 区域：选择洁净，干燥的无震动区域室温保持在-10 和 75°C (14° and 167°F)之间并且相对湿度在无凝固状态下的10% 和
95%之间 莱特浩斯感应监测器能通过T掌上手持式电脑或笔记本电脑直接读取输出，，或解决遇到的疑难问题。运用某一调制解
调器发送信号的软件，诸如终端T或在线T， 设定9600波特率。将数字式232RS 数据线插入莱特浩斯感应监测器上的RS-232
端口可获取累积或增， 数据线由莱特浩斯提供以连接到笔记本电脑或手持式掌上电脑上。 |
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| RS－232 以一埃的测量波长度输出数据 | 记录 | 铜 积累/增加 | 银 积累/增加 | 0000,
0001, | 0002,
0002, | 0002,
0002, | 0004,
0004, | 0004,
0004, |
| 运作 | 相关参数 | 小输出值: 4 mA
输出值: 20 mA
反复性: ± 0.5-1% of full span | 尺寸(长×宽×高): 3.25 x 4.24 x 1.37 英寸
重量t: 0.3 磅 (150 公斤)
外壳:黑色塑胶材质 |
| | 电伏指数 | 电源共计: | 18 － 30伏, 非常规 | 输出信号l: | 2个 4-20 毫安的直流电通道， 2根电源线 | 日常耗电量: | <50毫安 | 模拟输出间隔: | 通过电流间隔为 60 秒 | 数字输出间隔: | 15秒, RS-232 输出端口 | 红色闪灯: | 表示传感器出现故障 | 绿色灯快闪: | * 2 小时 – 表示传感器在初始化阶段 | 绿色灯慢闪: | ** 24小时 – 表示加强数据收集 | 绿色灯不闪动: | 表示设备处于常规操作阶段 | * 表示每2秒钟一闪
**表示每4秒钟一闪 |
Cumulative Corrosion Span
Incremental Corrosion Span
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