XL-80所用的测量光学镜组

公司名称：北京精纬创元科技有限公司

 张腾详细描述

相同的光学镜组可以与XL-80或ML10系统配合使用，从而保证测量设定和程序的一致性。所有测量均采用干涉原理测量，因此都使用了可溯源至国际标准波长的激光波长，让您对测量结果完全放心。
如需回转轴校准，请参阅RX10回转轴校准装置部分，如需其他光学附件协助设定和测量，请参阅光学镜组附件部分。
特性与优点
可互换 — 线性、角度和直线度光学镜组的独特设计，使不同测量之间的切换简单易行而不必重新进行激光对准。
便利 — 无需拖曳或缠绕电缆即可移动光学镜组，和便利性俱佳。
低质量铝制光学镜组 — 该光学镜组为铝制，因此在测量水平臂坐标测量机上的俯仰误差以及进行动态测量时，该光学镜组的低质量具有重大意义。
环境适应快速 — 某些竞争对手的系统使用不锈钢光学镜外壳。这些外壳比雷尼绍铝制光学镜组外壳重很多且导热率较低，因此适应车间环境的时间比较长。
线性测量光学镜组件
线性测量是目前在机器上执行的普遍的测量形式。
每个线性测量光学镜组件包括：
1个线性干涉镜
2个线性反射镜和夹紧螺钉
2个准直调整标靶
订货号：A-8003-0440线性测量光学镜组件
规格
标准距离 0 m - 40 m (0 in - 1600 in)
系统（与XL-80系统配合使用时） ±0.5 ppm（百万分之一）
（与ML10 Gold Standard配合使用时） ±0.7 ppm
（与ML10、Gold Standard之前的系统配合使用时） ±1.1 ppm
分辨率 0.001 μm (0.1 μin)
速度 4 m/s (9 600 in/min)
速度测量 ±0.05%
 
如执行大于40 m的线性测量，您需要长距离线性组件
角度测量光学镜组件
这些光学镜组可实现俯仰和扭摆角度测量。可以测量高达±10°的角度偏移，分辨率为0.01角秒。
每个角度测量组件包括：
1个角度反射镜
1个角度干涉镜
2个准直调整标靶
订货号：A-8003-0441角度测量光学镜组
规格
轴向量程 0 m - 15 m (0 in - 590 in)
角度测量范围 ±175 mm/m (±10°)
角度 ±0.6%* ±0.5 ±0.1M μm/m
（±0.6%* ±0.1 ±0.007F角秒）
分辨率 0.1 μm/m（0.01角秒）
其中：
% = 显示值的百分率
M = 以米计的测量距离
F = 以英尺计的测量距离
* 可特殊定制为0.2%的产品
线性和角度复合光学镜组组件
该复合光学镜组件对于想要执行线性和角度测量的用户来说是节约成本的选择。
每个复合组件包括：
1个线性反射镜和夹紧螺钉
1个角度反射镜
1个角度干涉镜
3个准直调整标靶
订货号：A-8003-2774线性和角度复合光学镜组件
直线度测量光学镜组件：0.1 - 4 m轴长
这些光学镜组可在长度达4 m的线性轴实现水平直线度误差的测量。还可实现轴平行度测量。
每个短距离直线度组件包括：
1个直线度干涉镜
1个直线度反射镜
订货号：A-8003-0443短距离直线度光学镜组
规格
轴向量程 0.1 m - 4 m (4 in - 160 in)
直线度测量范围 ±2.5 mm (±0.1 in)

±0.5% ±0.5 ±0.15M2 μm
(±0.5% ±20 ±0.5F2 μin)
分辨率 0.01 μm (1 μin)
其中：
% = 显示值的百分率
M = 以米计的测量距离
F = 以英尺计的测量距离
根据应用的不同，可能需要通用（直线度）光闸或直线度附件组件（请参阅光学镜组附件部分）
直线度测量光学镜组件：1 - 30 m轴长
使用XL-80激光系统时，这些光学镜组可用于量测长度从1 m到30 m的线性轴的水平直线度误差。还可实现轴平行度测量。
每个长距离直线度组件包括：
1个直线度干涉镜
1个直线度反射镜
2个准直调整标靶
订货号：A-8003-0444长距离直线度光学镜组
规格
轴向量程 1 m - 30 m (40 in - 1 200 in)
直线度测量范围 ±2.5 mm (±0.1 in)
*
±2.5% ±5 ±0.015M2 μm
(±2.5% ±200 ±0.05F2 μin)
分辨率 0.1 μm (10 μin)
其中：
% = 显示值的百分率
M = 以米计的测量距离
F = 以英尺计的测量距离
* 视环境条件而定
根据应用的不同，可能需要通用（直线度）光闸或直线度附件组件（请参阅光学镜组附件部分）
垂直度测量光学镜组
这些光学镜组通过比较一通过光学直角尺直线轴的直线度斜率值与另一轴直线度斜率值相对之差，来确定两条标称垂直坐标轴的垂直度。
注：
执行垂直度测量还需要直线度测量光学镜组件和直线度附件。
每个垂直测量光学镜组件包括：
1个光学角尺和夹紧螺钉
1个支架（用于安装可调转向镜）
订货号：A-8003-0665垂直度测量光学镜组
规格
范围 ±3/M mm/m（±2 000/F角秒）
分辨率 0.01 μm/m（0.01角秒）
其中：
M = 以米计的测量距离
F = 以英尺计的测量距离
平面度测量组件
平面度镜不仅可以水平旋转，还可以倾斜以实现激光光束的水平和垂直调整。
注：
还需要角度光学镜组才能执行平面度测量。
每个平面度测量组件包括：
2个平面度镜
1个50 mm平面度基板
1个100 mm平面度基板
1个150 mm平面度基板
订货号：A-8003-0442平面度测量组件
规格
轴向量程  0 m - 15 m
平面度测量范围 ±1.5 mm (±0.06 in)

±0.6%* ±0.02M2 μm
(±0.6%* ±0.08F2 μin)
分辨率 0.01 μm (1 μin)
其中：
% = 计算出的平面度值的百分率
M = 以米计的对角长度
F = 以英尺计的对角长度