- 产品品牌：
- JEOL日本电子
- 产品型号：
- IB-09010CP
- 类型：
- 电子显微镜
凝聚了日本电子公司科技人员多年的梦想与实践
截面抛光仪 IB-09010CP
- 不管是用机械研磨法难以制备的样品，还是软硬材质混合的复合材料，都能够制备出光滑的截面。
- 可以获得平滑的镜面抛光效果。与机械研磨法相比，使用截面抛光仪（CP）制备的样品变形小、晶体结构不易破坏，因而适合于晶体取向分析（EBSD）的前处理。
- 能够制备出宽度大约为1mm的大截面。
非常适合于镀层及电子元件的失效分析。 - 采用触控式面板，操作简单。
截面抛光仪IB-09010CP的特点
- 彩色液晶触控式面板操作:彩色液晶屏显示加工条件，一目了然。通过触摸屏即可设定加工条件。
- 标准配置的CCD相机，用于确定加工位置:屏幕画面便于观察，容易对准加工位置。
- 离子加速电压 为８ｋV （选配）:提高了研磨速度。标准的加速电压为６ｋV。
SEM应用图例
纸张截面
| 使用剃刀片等制作纸张截面时，纸纤维的损伤无法避免。从图中可以看出，使用CP制备的截面损伤较小。 | |
| CP制备的截面（背散射电子图像） |
C Kα (EDS) |
| Si Kα (EDS) |
Ca Kα (EDS) |
金线焊接
制备金等软质材料的截面样品时不会对其造成损伤，另外它还适合于对焊接结合部的焊点进行评估。采用传统机械研磨法制备样品会损坏焊点，研磨的磨料嵌入金内部甚至会引起界面层剥离，形成研磨损伤，而采用截面抛光仪（CP）制备截面样品则能避免这类损伤。
| 背散射电子图像 |
背散射电子图像 |
主要技术规格
| 离子加速电压 | 2～6kV |
|---|---|
| 离子束直径 | 500μm(FWHM) |
| 研磨速度 | 100μm/H (2小时的平均值，加速电压:6kV，硅换算， 边缘距离:100μm) |
| 搭载样品尺寸 | 11mm（宽）×10mm（长）×2mm（厚） |
| 样品移动范围 | X轴 ±10mm Y轴 ±10mm |
| 样品旋转角度调节范围 | ±5º |
| 样品加工摆角 | ±30º(申请中) |
| 操作方法 | 触控式面板 |
| 使用气体 | 氩气(由质量流量控制器控制流量) |
| 压力测试 | 潘宁真空计 |
| 主抽真空装置 | 涡轮分子泵 |
| 辅抽真空装置 | 机械泵 |
| 尺寸/重量 | 主机 545 mm(宽)×550 mm(长)×420 mm(高) 64kg |
| 机械泵 | 150 mm(宽)×427 mm(长)×230.5 mm(高) 16kg |
| 选配件 | 加速电压8 kV 单元 旋转样品台 高定位CCD相机 |
安装条件
| 电源 | 单相100～120V±10%、50/60Hz、0.5～0.6kVA |
|---|---|
| 地线 | 独立地线(100Ω以下) |
| 氩气 | 使用圧力:
0.15±0.05MPa(1.0～2.0kg/cm²) 纯度高于99.9999%(氩气、气瓶及调压器由客户自行准备。) 胶管接头: JIS B0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 20～25℃(变动: 1℃/h以内) |
| 湿度 | 小于60% |
