- 产品品牌:
- ZDF-5327Ⅱ型复合真空计
- 产品型号:
- ZDF-5327Ⅱ型复合真空计
1 仪器的用途及使用范围 ZDF-5327Ⅱ型复合真空计由双路热偶规(ZJ-53B)与单路电离规(ZJ-27)组成,用于2.7×102~6.6×10-6Pa之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃~35℃,相对湿度在80%以下,无强磁场及剧烈震动的场合。 2 主要技术性能规范 2.1 测量范围 热偶部分:2.7×102~1.0×10-1 Pa 电离部分:1.3×100~6.6×10-6 Pa 2.2 测量 热偶部分:≤±30% 电离部分:≤±5% 2.3 电源 ~220V±22V 50Hz ±1Hz 2.4 热偶规管恒定加热电流 29mA±1.5mA(27 mA±1.5mA) 2.5 电离规管发射电流 1.3×100~1.3×10-1 Pa 100μA 1.3×10-1~6.6×10-6 Pa 1mA 2.6 加速极对地电压 225V±2V 2.7 灯丝对地电压 25V±1V 2.8 收集极对地电压 0V 2.9 除气电压 ~8V±2V 2.10 仪器外形尺寸 装架式: 90mm×480mm×280mm 2.11 仪器开孔尺寸 88mm×440mm 2.12 仪器重量 5kg