- 产品品牌:
- 德国Visitec
- 产品型号:
- LC-SEM MIRA
- 类型:
- 电子显微镜
超大试样室扫描电子显微镜 (LC-SEM) MIRA超大试样室扫描电镜(LC-SEM)。作为世界上的一种扫描电镜,自从推出后,已得到广泛应用。可以装备多种不同的探测设备来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性,还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样本都可实现非常准确的,直到在分子层面的一站式检查和分析。 使用通常扫描电子显微镜时,在材料科学中面临挑战之一是被测样品的大小限制。通常情况下,只能对直径在数十到一百毫米内小的样本进行研究。这限制了这一重要测试技术的应用。LC-SEM克服了这一点,其超大真空室和光学系统扩展视图功能可容纳直径与高度分别达1500mm,重300kg的样品。从一粒沙子到一个柴油发动机大小的样品,不必切小,仅用一台仪器就可以做全面的检查。其足够大的空间还可进行原位观察,实现零部件疲劳、磨损等非破坏性试验研究。 LC-SEM 真空室和真空系统
LC-SEM试样室有 3 m3、9 m3、12 m3 三种型号,可观察试样尺寸:直径1500毫米、高度1500毫米。真空系统装配有强大的三个真空泵:旋片和转子泵应用于低真空,涡轮增压泵应用于高真空,可实现 10 -6 mbar的高真空。该系统有足够的能力,除去腔室中试样的气体,在45分钟内便可以实现所需的真空度。腔室设置有多层墙体保证了不受任何外部磁场的影响。 |
在LC-SEM内的疲劳试验 为了满足评估原位变形特性研究的需要,将一个机械液压疲劳试验机融入到了腔室中,可以在LC - SEM中执行疲劳测试。 在这种联合测试中,不仅能确定材料过载临界点,而且裂纹的生成与扩展也能被观察和研究,晶体材料的特性能在执行疲劳试验后进行研究,由此显微镜转换成了一个完整的测试设备,能提供完整的测试结果。该系统能使研究人员记录材料裂纹聚集之前的结构变化,同时能够观察微观结构对初期裂纹形成与扩展的影响。该系统还设计有一个节点控制机制,允许感兴趣的点始终留在视野当中。本机的优异的稳定性,能够极大地改善疲劳、开裂现象的原位研究。 应用实例:美国田纳西大学--应用LC-SEM的疲劳试验
应用行业
|
应用领域
|
LC-SEM 技术规格参数
电子光学 | |
分辨率 | 优于10纳米 |
放大倍数 | 10x – 300,000x |
加速电压 | 0.2 – 30keV |
探测器 | 二次反射通道倍增电子探测器 四象限背散射电子探测器 |
分析能力 | 能量色散X射线光谱仪(EDS) |
电子背散射衍射(EBSD) | |
附加功能 | 聚焦离子束(FIB) |
傅立叶变换红外光谱仪(FT - IR) | |
内部摄像系统 | |
图像处理 | |
软件 | MIRA控制系统 |
硬件 | 个人电脑,显示器和打印机 |
真空系统 | |
低真空泵 | 旋片泵,65立方米/ h |
旋转式转子泵,400立方米/小时 | |
高真空泵 | 涡轮泵2400升/秒 |
极限真空 | 直至45分钟后10-6毫巴 |
真空室 | 3 m3; 9 m3; 12 m3 |
标本 | |
尺寸 | 高达直径1500毫米,高度1500毫米 |
质量 | 300 kg, |
定位系统 | |
轴 | 5 +1微步控制轴系统 |
重复 | ±50 μm |
定位范围 | |
X-轴 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
Z-轴 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
A-轴 | 90° |
B-轴 | 135° |
C-轴 | 360° |
D-轴 | 350° |