精密仪器气浮隔振基座,能够隔来自垂直和水平方向上2到100Hz频率范围的振动。而该频率范围是实验室中精密仪器常见大振幅振动源的振动频率范围。垂直方向上的振动可通过空气弹簧(采用德国空气弹簧)隔离,水平方向的振动则通过空气弹簧与单摆结构相结合的两级隔振,所以水平方向隔振效果更加优异。
基座的台面采用“济南青”花岗石或人造花岗石,其物理性能稳定,台面变形小,同时具有吸振性能。并配有德国BOSCH的水平高度阀,该阀门能调节气动隔离系统中的压力,从而自动控制基座的高度,高度控制在0.5mm以内。
该精密仪器气浮隔振基座主要应用于精密仪器设备和相关实验系统的隔振,相关仪器设备包括原子力显微镜、SPM、白光干涉仪和生物显微镜等纳米的测量仪器和成像显微系统。