- 产品品牌：
- AGC
- 产品型号：
- SERICS 100/600
系统名称
硅烷中杂质分析检测系统。设计思路
我公司设计的“高纯气分析检测系统”包括以下主要设计思路： l 专台专用，在完全满足检测要求的前提下，优化组合配套； l 仪器的选型配套，要符合实验室的使用要求，并且便于分析人员的操作； l 提供人性化的售后服务和支持，保证使用方能独立操作。技术优势
我公司设计的“高纯气分析检测系统”方案拥有以下技术优势： l 色谱仪的部件----检测器完全基于爱尔兰AGC公司的自主研发， 具有较高的灵敏度、较好的稳定性； l 色谱仪的气路系统----独到的中心切割、反吹系统技术，可以完成多种复杂成分的分析检测； l 色谱仪的软件系统----专门为AGC色谱配套研发的Trend Vision，除完成测试、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外，多可同时控制4台分析仪器； l 本方案中所配套的露点仪，为行业内先进的气体分析仪器，可以完全满足实验室高纯气体的检测。方案详解
方案总述
l 硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2杂质分析推荐仪器：AGC 100DID气相色谱仪
数量：1台 l 特气分析专用吹扫系统一套硅烷中H2/O2/N2/CH4/CO/CO2杂质分析----AGC100DI
检测器工作原理
放电离子化检测器的结构如图1所示。该检测器由电离室和放电室两部分组成，两室之间有狭路相通。当在放电室内的两个高压电极上加以适量高压电后，两电极之间就会产生放电，从而得到一束高能量的紫外光辐射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向电离室内，在这过程中，高能光子直接照射样品成份中被测杂质分子，使其电离形成离子，或者高能光子首先将载气氦原子激发至亚稳态(He*)，然后具有较高能量的He*再与样品中杂质分子发生非弹性碰撞并使其电离。此时在集电极上加以适当电压收集被电离的杂质分子，并将其信号放大记录即得到被测成份的谱峰。由于光子具有较高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在内的一切物质分子电离，所以，DID是一种高灵敏度、通用型检测器。
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图1：DID检测器 |
技术数据
| 型号、厂家 | AGC100DID、爱尔兰AGC仪器有限公司 |
| DID检测器 | 灵敏度：CH4≤5ppb |
| 线性范围：＞106 | |
| 柱箱温度范围 | 室温～250℃ |
| 升温 | ＜±1％ |
| 载气 | 超纯氦 ＞99.999% |
| 放电气体 | 超纯氦 ＞99.999% |
| 驱动气 | 清洁干燥空气 |
| 电源要求 | 220V，50/60Hz |
| 样品气进口连接方式 | 1/8″VCR |
| 安装方式 | 支架式 |
供货组成及系统流程图
| AGC600DID色谱仪组成(如图2所示)： | 数量 | ||
| 1.色谱柱分离系统 | 色谱柱类型：填充柱 | 1套 | |
| 填充物类型：5A分析筛、Hayesep，脱氧柱 | |||
| 2.控制阀系统 | 进样阀：十通电磁阀 | 1组 | |
| 切割控制阀：八通，四通电磁阀 | 2组 | ||
| 3.分析检测系统 | DID检测器 | 1套 | |
| 专用电源 | 1个 | ||
| 4.数据分析系统 |
AGC专用工作站Trend Vision：除完成测试、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间及各种切割动作外，多可同时控制4台色谱仪，图2所示。 |
1套 | |
| 电脑 | 1台 | ||
| 打印机 | 1台 | ||
| 配套组成部分： | 数量 | ||
| 载气纯化器 | 可再生型，型号75-802，图3所示。 | 1个 | |
| 超高纯调压器 | AGC(P-125)专用的气体超高纯调压器(双极)图4所示 | 2个 | |
| 载气切换装置 | 专用切换阀组 | 1套 | |
| 标准气 | 各组分均符合检测要求 | 1瓶 | |
| 载气 | 超纯氦 ＞99.999% | 2瓶 | |
| 驱动气 | 清洁干燥空气 | 1瓶 | |
仪器外形图
AGC 100DID主机
