- 产品品牌:
- syscos
- 产品型号:
- LE-M5
LE - M5 是系科仪器公司推出的激光型椭偏仪。采用全新椭偏算法配合高品质相位补偿的设计方案,可以获得更为出色的原始椭偏参数(TanPsi 及 CosDel),进而获得更为的折射率及厚度。LE-M5同时支持多角度测量,适应复杂应用的膜厚测定。无论是光面还是绒面,LE-M5都能提供出色的采集速度及。
WHY LE-M5?
成熟的整体设计,高信噪比
微细光斑(<<1mm,≈20μm)
切换式载物台
集成操作的LE-M5软件系统全天候数据监控