安捷伦台式HP 4500
ICP-MS，该系统被广泛应用于半导体行业。因为半导体行业对检出限要求高，通常要求ppt级的检出限，这也就需要仪器具备高的灵敏度，同时
ICP-MS质谱仪的同时多元素分析能力也大大满足了半导体行业的需求。
在半导体行业中，的分析难点即为痕量K、Ca、Na、
Mg、Fe的分析，由于ICP-MS固有的质谱干扰很难获得上述痕量元素的准确分析结果。HP
4500次引入了冷等离子体的感念，由于的冷等离子需要等离子体电势显著降低，以接口区域的二次放电导致的多原子电离干扰，安捷伦科技的屏
蔽炬技术能够上述难题，实现了半导体行业ppt量级的K、Ca、Na、Mg、Fe元素的准确分析，该技术也成为半导体行业痕量分析上述元素的标准
技术。
