1： 精密、大型非接触影像测量仪器
2：可应用多种传感装置：接触式，CCD，Laser
3：适合半导体LCD件测量
| X | Y | Z | |
测量范围(mm) | 300～ | 300～ | 50～ |
分辨率(µm) | 0.5/0.1 | ||
允许误差 | 3.5+L/300～ | ||
速度(mm/s) | 400 | ||
空气需求(kg/c㎡) | 4,25 | ||
成像系统 | 1/2" 高精扫描CCD测头 | ||
| 照明系统 | LED环形灯(红色或白色) | ||
| 可选项 | 接触式测头 |
电子驱动控制：
利用数字信号处理技术实现、持续、的动作控制
电力供给接口及配有键盘的操作手柄
标准配件：
空气干燥器
油污过滤器/空气过滤器
* 可以根据要求制作高及的模块
* 为了性能，上述内容可以不提前预告而进行变更
