日本原装索尼1/2''CCD。美国0.7*4.5X变焦物镜和测量软件，带自动寻边，可以非接触式测高，电脑，送仪器卓，3D探头功能加7000元
仪器规格：
仪器型号 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-2515 | VMS-3020 | VMS-4030 | |
工作台 | 金属台面尺寸(mm) | 354×228 | 404×228 | 450×280 | 510×290 | 606×466 |
玻璃台面尺寸(mm) | 210×160 | 260×160 | 306×196 | 360×260 | 450×350 | |
运动行程(mm) | 150×100 | 200×100 | 250×150 | 300×200 | 400×300 | |
仪器重量(Kg) | 100 | 110 | 120 | 200 | 240 | |
外形尺寸(mm) | 600×550×920 | 600×550×920 | 680×600×1020 | 780×670×1070 | 960×750×1100 | |
Z轴升降行程 | 150mm | |||||
工作距离 | 108mm | |||||
X、Y、Z数显解析度 | 1μm | |||||
X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)μm | |||||
影像系统 | 摄像机：彩色1/3" CCD | |||||
电源 | AC180~260V 50Hz | |||||
测量功能 | Mclns自动测量软件，可自动寻边、去毛刺，可测贴、线、圆、圆心距、摆正等 |
