无需靶镜的高激光自干涉仪
产品介绍：
传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜，以反射测量光线，获得高测量效果。清华大学推出国际光的LY1000非接触式激光干涉仪，无需反射靶镜，利用待测物工件自身反射的光线即可实现高的测量
应用场所介绍
除传统激光干涉仪使用的测量目标外，还适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的测量目标，如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数等
系统特点
1无需靶镜、非接触式测量、量测可达5M
2被测物表面反射率无严格要求，可测“黑”表面
3采用激光自干涉原理，线性测量可达1*10-6次方
4无外部光学器件、无需调整光路、操作灵活方便
5自动环境补偿，测量高
规格参数
激光头尺寸 265*90*78mm
激光头重量 4Kg
激光工作波长 1064nm
激光功率 1-5mW
激光光束直径 3-5mm
工作温度范围 0℃-+40℃
系统组成 激光头、控制箱、补偿传感器、笔记本电脑、连接电缆
激光稳频 1*10-6
线性测量范围 5m
线性测量 1*10-6
分辨率 1nm
被测物反射率 10-7——1
测量速度 50mm/s