- 产品品牌：
- sunic
- 产品型号：
- SET3
SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻机/激光修阻机/激光调阻机 激光调组设备的产品特点： 调阻高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能； 调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快； 可靠性高：整机配置器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠； 功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能； 运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本； 激光调组设备技术参数： 激光器系统： 激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器 激光波长：1064/532/355nm 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355) 激光频率：200Hz-50KHz 典型光斑尺寸：30μm 实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光小光斑达12μm 泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时 冷却方式：风冷 对焦方式：计算机程序控制 激光束定位系统： 激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格） 点到点运动时间：5ms（典型） 速度：7000mm/s 重复定位：2.5μm 激光束小步进：0.76μm 图像监视系统： 监视方式：激光同轴监视 放大倍数：>100倍 图像监视显示屏：19寸液晶 测量系统： 激励方式：电流/电压激励 恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择 恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围） 电阻测量方式：四线制加电流测电压 直流电压测量：10mV~10V（满程电压） 调节对象发热控制：程序可设定 电阻测量：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω） 中阻：<0.05% 高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ） 电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ 电阻测量速度：25μs 直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下） 探针板：44针11组四线制（可选其它规格） 探针板运动：计算机程序控制 计算机及软件系统： 工业控制计算机（双核），17寸液晶 操作系统：Windows XP VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大 分步重复运动系统： 运动XY范围：290x260mm 运动分辨率：1μm 定位：小于6μm（带误差补偿） 重复定位：小于3μm 运动速度：900mm/s 具有温度补偿等功能 非接触温度测量： 温度测量：0.2℃ 调阻温度修正：计算机程序控制 其它技术指标： 供电电压：220V AC 整机功耗：小于1000W 激光调组设备应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、科研、片式电阻等行业。 SET3/1064/532/355，SFT3：激光微调机/激光修阻机/激光调阻机/激光刻阻机 激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高的电阻值或精准的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用高质量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到先进水平，是取代进口产品之。 应用和市场： 主要应用于厚、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路，电子元器件，汽车电器，传感器，科研，片式电阻行业等。 公司名称：武汉三工光电设备制造有限公司 公司地址：湖北武汉东湖新技术开发区武汉大学科技园武大园四路 联系人：余小姐
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