| 产品名称：微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品型号：ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品产地：德国 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 制 造 商：德国耶拿尔测量技术有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 详细介绍: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，移动平台运动情况的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量，多可实现六轴联动。具有以下性能优势： l 真正意义上的双频激光干涉仪，两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别。德国耶拿尔公司是为数不多的双频激光干涉仪的制造商，众所周知双频激光干涉仪更好、性能更稳定。 l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。 l 干涉镜采用差分干涉原理，系统更高，可达±0.4ppm。 l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。 l 采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l 被测物体速度16m/s（可选）；采用高AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。 l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。 l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。 l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。 技术参数
应用 以下是为中国科学院设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用。在个中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。 以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。 ZLM800部分光路图示例和部件示意图 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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