■三轴驱动系统靠近质量中心，减小了惯性偏摆，即使在高加速度状态下也能运动的平稳性。光栅系统距被测工件近，的减小了阿贝误差。
系列采用可移动工作台式结构高稳定性和测量
■结构具有刚性高，稳定性好，外界干扰能力强
■大惯量移动轴采用高刚性传动，即使对大型工件测也具备高运动加速度
■三轴驱动系统靠近质量中心，减小惯性偏摆，在高加速度状态下也能运动平稳性
■合理的结构布局使光栅系统距被测工件近，的减小了阿贝误差。
■传动系统振动隔离设计使机器运动时也能把机械振动对测量影响降小。
■三轴导轨均采用优质花岗岩，使三轴具有相同温度特性，具有良好温度稳定性、实效变形能力，刚性好、动态几何误差变形小。
■导轨采用封闭式结构设计，机器刚性和稳定性，即使长时间工作也能保持高，机器优异动态特性。
■三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，运动更平稳。
参数表 | |||||
型号 |
| 866 | 086 | 286 | 2108 |
测量范围 | X轴 | 600mm | 800mm | 800mm | 1000mm |
Y轴 | 800mm | 1000mm | 1200mm | 1200mm | |
Z轴 | 600mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
外形尺寸 | 长L | 1950mm | 2250mm | 2650mm | 2650mm |
宽W | 1400mm | 1600mm | 1600mm | 1860mm | |
高H | 3180mm | 3180mm | 3180mm | 3600mm | |
分辨率 |
| 0.1um | |||
示值误差E（） |
| 1.2+L/300 | 1.3+L/300 | 1.3+L/300 | 1.6+L/300 |
空气压力 |
| 0.6～0.8 MPa | |||
承受重量 |
| 300kg | 350kg | 350kg | 500kg |
仪器重量 |
| 5500kg | 6800kg | 7500kg | 9000kg |
* 产品技术数据如有更新，恕不另行通知 | |||||
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